加工精度達到和超過 0.1微米稱超精密機械加工。在航空航天工業中，精密機械加工主要用于加工飛行器控制設備中的精密機械零件，如液壓和氣動伺服機構中的精密配合件、陀螺儀的框架、殼體，氣浮、液浮軸承組件和浮子等。加工精度達到 1微米的機械加工方法。精密機械加工是在嚴格控制的環境條件下，使用精密機床和精密量具和量儀來實現的。
飛行器精密零件的結構復雜、剛度小、要求精度很高，而且難加工材料所占的比重較大。精密機械加工的工藝效果是： 零件的幾何形狀和相互位置精度達到微米或角秒級； 零件的界限或特征尺寸公差在微米以下; 零件表面微觀不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米; 互配件能滿足配合力的要求； 部分零件還能滿足精確的力學或其他物理特性要求，如浮子陀螺儀扭桿的扭轉剛度、撓性元件的剛度系數等。
